Физико-химические основы технологии электронных средств

В учебном пособии рассматриваются физико-химические основы технологических процессов производства электронных средств. Основное внимание уделяется рассмотрению теоретических закономерностей в процессах, связанных с современными методами формирования микроэлектронных структур: процессам очистки, легирования полупроводниковых структур, формированию проводящих и диэлектрических пленок, различным методам литографии. После каждого из разделов пособия приводятся контрольные вопросы для самопроверки усвоения полученных знаний. Учебное пособие предназначено для студентов направления подготовки «Конструирование и технология электронных средств» уровней бакалавриата и магистратуры, а также может быть полезно студентам смежных направлений подготовки, интересующихся вопросами современной технологии производства электронных средств.